無塵車間在光學(xué)光電制造業(yè)中的應(yīng)用
華銳凈化工程 2019-06-11 10:40:02 閱讀
電子光學(xué)光電行業(yè)是應(yīng)用潔凈凈化技術(shù)的重要領(lǐng)域,根據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)表明約占整個潔凈工程行業(yè)的60—70%的份額,之所以要大規(guī)模應(yīng)用潔凈技術(shù),建設(shè)無塵車間,是因為產(chǎn)品對生產(chǎn)環(huán)境有著特殊的要求。
潔凈技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大,因為它與產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高,特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感,因為它們能引起金屬層之間的短路。
電子光學(xué)光電行業(yè)對潔凈度有較高的要求
在電子光學(xué)光電生產(chǎn)車間中,隨著人的進(jìn)進(jìn)出出,往往會帶進(jìn)很多的灰塵顆粒,而高精密度的電子元器件,對于環(huán)境的要求特別的高,生產(chǎn)出來的電子元器件的質(zhì)量往往跟空氣中的懸浮灰塵顆粒有很大關(guān)系,所以在電子生產(chǎn)車間往往都要建設(shè)為無塵車間,保證空氣中的懸浮顆粒的數(shù)量以保證電子元器件的高質(zhì)量,無塵車間設(shè)備中的負(fù)離子凈化空氣系統(tǒng)能降低空氣中的懸浮顆粒物的濃度,讓生產(chǎn)環(huán)境更加的潔凈。
電子光學(xué)光電行業(yè)對溫濕度有嚴(yán)格要求
在電子生產(chǎn)中,過高或者過低的溫濕度都會對產(chǎn)品造成惡劣影響。例如;濕度過大,會導(dǎo)致電子元器件漏電、擊穿、材料老化;濕度過低又會導(dǎo)致塑料、絕緣材料干燥收縮、變形甚至龜裂。溫度過高會導(dǎo)致元器件膨脹,導(dǎo)致尺寸變化、位置偏移、機(jī)構(gòu)變形,影響產(chǎn)品質(zhì)量。
電子光學(xué)光電行業(yè)對防靜電有嚴(yán)格要求
在微電子器件生產(chǎn)過程中,各種因素產(chǎn)生的靜電電壓,往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍,導(dǎo)致電子設(shè)備出現(xiàn)故障,損壞設(shè)備內(nèi)部各元器件,引起設(shè)備誤動。靜電還會吸塵,容易積蓄灰塵,導(dǎo)致設(shè)備通風(fēng)散熱受到很大影響,導(dǎo)致機(jī)械零件出現(xiàn)嚴(yán)重磨損,從而影響設(shè)備的使用壽命。
電子光學(xué)光電行業(yè)潔凈室系統(tǒng)建設(shè)特點
將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之車間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
● 電子光學(xué)光電制造萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)
● 電子光學(xué)光電制造潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。
● 電子光學(xué)光電制造潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa
● 電子光學(xué)光電制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項中的最大值
● 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
電子光學(xué)光電潔凈室系統(tǒng)工程一般包括
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化房和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)