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    淺談無塵車間中的工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)施工要求

    華銳凈化工程 2019-06-11 10:51:19 閱讀

    一、冷卻水系統(tǒng)的構(gòu)成

    冷卻水系統(tǒng)中一般包括水箱、循環(huán)水泵、精密過濾器、板式換熱器、生產(chǎn)設(shè)備用水點、水泵變頻電氣控制、溫度傳感器、壓差傳感器、壓力傳感器、RO補(bǔ)水裝置、背壓閥、調(diào)壓閥、閥件及不銹鋼管道等。

     

     

     

    二、系統(tǒng)的主要構(gòu)件

    1)水泵

    水泵須滿足使用流量和揚(yáng)程的要求,且體積小、重量輕、造價低,有良好的特性和較高的效率,一般才有多級離心泵,且相互備用;良好的抗汽蝕性能,既能保證水泵運(yùn)行平穩(wěn)、壽命長,又能降低運(yùn)行費(fèi)用,工程投資少;水泵的本體采用不銹鋼材質(zhì),可以很好避免對水質(zhì)可能造成的污染。

    在安裝時減少進(jìn)口側(cè)耳彎頭,閥件使進(jìn)水管通暢,抬高進(jìn)水壓力,保證水管氣密可有效減少氣蝕的發(fā)生;選用必需汽蝕余量小的泵浦。

    2)熱交換器

    熱交換器按其形式可分管殼式,板式,板翅式,熱管式等,相比較而言,板式熱交換器具有占地面積小,傳熱面積大的優(yōu)點。

    冰水下進(jìn)上出,PCW上進(jìn)下出,使冰水盡量帶走熱量,充分進(jìn)行熱交換,并通過調(diào)節(jié)冰水電動閥,保證PCW出水溫度穩(wěn)定。

     

     

    3)RO補(bǔ)水裝置

    補(bǔ)水裝置一般由補(bǔ)水管路,水箱液位計、電動閥組及其旁通管路組成,水箱水位過低時,液位計發(fā)出補(bǔ)水信號,電動閥開啟,RO水進(jìn)入水箱,水位達(dá)到預(yù)定位置時,液位計發(fā)出信號,電動閥關(guān)閉,補(bǔ)水結(jié)束。

    4)過濾器

    水過濾器或過濾裝置的選擇,除要考慮后續(xù)管路可能對水質(zhì)的影響,還要兼顧考慮不同工藝設(shè)備水質(zhì)要求的差異。因此,一般選擇為兩級過濾器,前端過濾器一般選用5μm,99%過濾要求的不銹鋼過濾器,末端過濾器選擇根據(jù)末端工藝設(shè)備的水質(zhì)要求確定。外殼材料為不銹鋼制作,濾芯材質(zhì)為聚丙烯濾芯。

     

     

     

    5)背壓閥

    實現(xiàn)在閥門前形成一定的壓力,壓力一般可以調(diào)節(jié)。液體進(jìn)入閥門后被膜片阻擋,于是液體對膜片產(chǎn)生向上的壓力。當(dāng)壓力足夠大時,彈簧被壓縮,流體頂起膜片形成通道,從閥門出口流出;若流體壓力不夠,就會形成憋壓,來保證管路壓力維持在額定壓力下。壓安裝每路支管路回水側(cè),以保證此支管路進(jìn)機(jī)臺的壓力。

     

     

     

    6)機(jī)臺銜接

    機(jī)臺設(shè)備連接處安裝進(jìn)出水閥門、壓力表、溫度表、旁通閥、減壓閥、專用接口;

     

    三、冷卻水的自動控制

    PCW在半導(dǎo)體廠是個非常重要的系統(tǒng),出現(xiàn)故障會影響車間內(nèi)的大部分的生產(chǎn)設(shè)備而導(dǎo)致巨大損失,系統(tǒng)自動化程度高,對控制要求較高,主要包括水溫、壓力、水質(zhì)以及水泵的控制。

    1)供水水溫的控制

    根據(jù)工藝設(shè)備對供水溫度的需求,系統(tǒng)對供水溫度要求控制在20℃(根據(jù)具體設(shè)定),供水溫度通過安裝在輸水管道上溫度傳感器采集,傳輸?shù)絇LC運(yùn)算控制模塊,控制冷凍水側(cè)電動閥開啟度調(diào)節(jié)冷凍水側(cè)流量,從而控制板換冷量交換,使冷卻水達(dá)到20℃的設(shè)計目標(biāo)要求;為確保系統(tǒng)溫度穩(wěn)度,設(shè)置雙探頭,且兩個溫度值都設(shè)置報警值,可以切換控制電動閥,同時電動閥開度也設(shè)置報警值。

    2)供水壓力控制

    系統(tǒng)二次泵采用變頻調(diào)速控制,即通過供水壓力調(diào)節(jié)變頻器頻率,進(jìn)而調(diào)節(jié)供水壓力;同時壓力傳感器控制水泵出口端回水電動閥的啟閉,當(dāng)壓力大于設(shè)定值(如0.5MPa)時,電動閥打開,以防止系統(tǒng)壓力過高,對后續(xù)管路尤其是工藝設(shè)備產(chǎn)生影響。

    3)變頻泵的控制

    確保供水設(shè)備、泵還有后備設(shè)備的工作持續(xù)性,即不間斷運(yùn)作;

    a.一般用UPS供電;

    b.當(dāng)運(yùn)行泵故障或供水壓力小時自動啟動備用泵;

    c.變頻恒壓供水;

    d.對備用泵的啟動通過供水壓力來控制,當(dāng)供水壓力低于一定值時啟動備用泵。當(dāng)運(yùn)行泵出現(xiàn)故障停止時,備用泵工頻啟動;

    e.壓力設(shè)置雙探頭,且兩個壓力值都設(shè)置報警值,可以互作切換控制變頻器。

     

     

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