淺談潔凈室潔凈度的檢測方法

1.風(fēng)量或風(fēng)速的檢測

1.1.對于單向流潔凈室，采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量。離高效過濾器 0.3m，垂直于氣流的截面作為采樣測試截面，截面上測點(diǎn)間距不宜大于 0.6m，測點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于５個(gè)，以所有測點(diǎn)風(fēng)速讀數(shù)的算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

1.2.對于非單向流潔凈室，采用風(fēng)口法或風(fēng)管法確定送風(fēng)量，做法如下：

１.2.1風(fēng)口法是在安裝有高效過濾器的風(fēng)口處，根據(jù)風(fēng)口開頭連接輔助風(fēng)管進(jìn)行測量。即用鍍鋅鋼板或其他不產(chǎn)塵材料做成與風(fēng)口開頭及內(nèi)截面相同，長度等于２倍風(fēng)口長邊 長的直管段，連接于風(fēng)口外部。在輔助風(fēng)管出口平面上，按最少測點(diǎn)數(shù)不少于６點(diǎn)均勻 布置，使用熱球式風(fēng)速儀測定各測點(diǎn)之風(fēng)速。然后，以求取的風(fēng)口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng) 口凈截面積求取測定風(fēng)量。

1.２.2.對于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長的支管段，且已經(jīng)或可以鉆孔時(shí)，可以用風(fēng)管法確定風(fēng) 量。測量斷面應(yīng)位于大于或等于局部阻力部件前３倍管徑或長邊長，局部阻力部件后５ 部管徑或長邊長的部位。

對于矩形風(fēng)管，是將測定截面分割成若干個(gè)相等的小截面。每個(gè)小截面盡可能接近 正方形，邊長不應(yīng)大于 200mm，測點(diǎn)應(yīng)位于小截面中心，但整個(gè)截面上的測點(diǎn)數(shù)不宜 少于３個(gè)。

對于圓形風(fēng)管，應(yīng)根據(jù)管徑大小，將截面劃分成若干個(gè)面積相同的同心圓環(huán)，每個(gè) 圓環(huán)測４點(diǎn)。根據(jù)管徑確定圓環(huán)數(shù)量，不宜少于３個(gè)。

2.靜壓差的檢測

2.1.靜壓差的測定應(yīng)

在所有的門關(guān)閉的條件下，由高壓向低壓，由平面布置上與外界最遠(yuǎn)的里間房間開始，依次向外測定。

2.2.采用的微差壓力計(jì)，其靈敏度不應(yīng)低于 2.0Pa。

2.3. 有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室，其洞口處應(yīng)有合理的氣流流向。洞口 的平均風(fēng)速大于等于 0.2m/s 時(shí)，可用熱球風(fēng)速儀檢測。

3.空氣過濾器泄漏測試

3.1 高效過濾器的檢漏，應(yīng)使用采樣速率大于 1L/min 的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。D 類高 效過濾器宜使用激光粒子計(jì)數(shù)器或凝結(jié)核計(jì)數(shù)器。

3.2 采用粒子計(jì)數(shù)器檢漏高效過濾器，其上風(fēng)側(cè)應(yīng)引入均勻濃度的大氣塵或含其他氣溶膠塵的空氣。對大于等于 0.5μm 塵粒，濃度應(yīng)大于或等于 3.5×105pc/m3 ；或?qū)?大于或等于 0.1μm 塵粒，濃度應(yīng)大于或等于 3.5×107pc/m3；若檢測 D 類高效過濾器， 對大于或等于 0.1μm 塵粒，濃度應(yīng)大于或等于 3.5×10９pc/m3。

3.3.泄漏率的檢測應(yīng)在接近設(shè)計(jì)風(fēng)速的條件下進(jìn)行。將受檢高效過濾器下風(fēng)側(cè)測 得的泄漏濃度換算成透過率，高效過濾器不得大于出廠合格透過率的 2 倍；Ｄ類高效過濾器不得大于出廠合格透過率的 3 倍。 B.3.4.在移動(dòng)掃描檢測工程中，應(yīng)對計(jì)數(shù)突然遞增的部位進(jìn)行定點(diǎn)檢驗(yàn)。

4.室內(nèi)空氣潔凈度等級的檢測

4.1.空氣潔凈度等級的檢測應(yīng)在設(shè)計(jì)指定的占用狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)）下進(jìn)行。

4.2.檢測儀器的選用：應(yīng)使用采樣速率大于 1L/min 的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器，在儀器 選用時(shí)應(yīng)考慮粒徑鑒別能力，粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率。儀表應(yīng)有有效的標(biāo)定合格 證書。

4.3.采樣點(diǎn)的規(guī)定：

4.3.１.最低限度的采樣點(diǎn)數(shù) NL，見表 B.4.3；

表 B.4.3 最低限度的采樣點(diǎn)數(shù) NL 表

測點(diǎn)數(shù) NL	2	3	4	5	6	7	8	9	10
潔凈區(qū) 面積 A （m2）	2.1~ 6.0	6.1~ 12.0	12.1~ 20.0	20.1~ 30.0	30.1~ 42.0	42.1~ 56.0	56.1~ 72.0	72.1~ 90.0	90.1~ 110.0
注：1 在水平單向流時(shí)，面積 A 為與氣流方向呈垂直的流動(dòng)空氣截面的面積。 2 最低限度的采樣點(diǎn)數(shù) NL 按公式 NL =A0.5 計(jì)算（四舍五入取整數(shù)）。

4.3.２.采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于整個(gè)面積內(nèi)，并位于工作區(qū)的高度（距地坪 0.8m 的水平 面），或設(shè)計(jì)單位、業(yè)主特指的位置。

4.4 采樣量的確定：

4.4.1.每次采樣的最少采樣量見表 B.4.4；

表 B.4.4 每次采樣的最少采樣量 Vs（L）表

潔凈度等級	粒徑（μm）
0.1	0.2	0.3	0.5	1.0	5.0
1	2000	8400	----	-----	-----	----
2	200	840	1960	5680	------	----
3	20	84	196	568	2400	-----

4	2	8	20	57	240	------
5	2	2	2	6	24	680
6	2	2	2	2	2	68
7	-----	-----	-----	2	2	7
8	----	----	-----	2	2	2
9	-----	-----	------	2	2	2

4.4.２.每個(gè)采樣點(diǎn)的最少采樣時(shí)間為 1min，采樣量至少為 2L；

4.4.３.每個(gè)潔凈室（區(qū)）最少采樣次數(shù)為３次。當(dāng)潔凈區(qū)僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí)，則在該點(diǎn)至少采樣 3 次；

4.4.４.對預(yù)期空氣潔凈度等級達(dá)到４級或更潔凈的環(huán)境，采樣量很大，可采用 ISO14644—1 附錄 F 規(guī)定的順序采樣法。

4.5 檢測采樣的規(guī)定：

4.5.１.采樣時(shí)采樣口處的氣流速度，應(yīng)盡可能接近室內(nèi)的設(shè)計(jì)氣流速度；

4.5.２.對單向流潔凈室，其粒子計(jì)數(shù)器的采樣管口應(yīng)迎著氣流方向；對于非單向流潔 凈室，采樣管口宜向上；

4.5.３.采樣管必須干凈，連接處不得有滲漏。采樣管的長度應(yīng)根據(jù)允許長度確定，如 果無規(guī)定時(shí)，不宜大于 1.5m；

4.5.４.室內(nèi)的測定人員必須穿潔凈工作服，且不宜超過 3 名，并應(yīng)遠(yuǎn)離或位于采樣點(diǎn) 的下風(fēng)側(cè)靜止不動(dòng)或微動(dòng)。

4.6 記錄數(shù)據(jù)評價(jià)

空氣潔凈度測試中，當(dāng)全室（區(qū)）測點(diǎn)為 2~9 點(diǎn)時(shí)，必須計(jì) 算每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子濃度Ｃi 值、全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度Ｎ及其標(biāo)準(zhǔn)差，導(dǎo)出 95%置信上限值；采樣點(diǎn)超過 9 點(diǎn)時(shí)，可采用算術(shù)平均值 N 作為置信上限值。

4.6.１ 每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子濃度Ｃi 應(yīng)小于或等于潔凈度等級規(guī)定的限值，見表4.6-1。

表 B.4.6—1 潔凈度等級及懸浮粒子濃度限值

潔凈度等 級	大于或等于表中粒徑 D 的最大濃度 Cn（pc/m3）
0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1.0μm	5.0μm
1	10	2	--	--	--	--
2	100	24	10	4	--	--
3	1000	237	120	35	8	--
4	10000	2370	1020	352	83	--

續(xù)表 B.4.6-1

潔凈度 等級	大于或等于表中粒徑 D 的最大濃度 Cn（pc/m3）
0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1.0μm	5.0μm
5	100000	23700	10200	3520	832	29
6	1000000	237000	102000	35200	8320	293
7	--	--	--	352000	83200	2930
8	--	--	--	3520000	832000	29300
9	--	--	--	35200000	8320000	293000
注：1 本表僅表示了整數(shù)值的潔凈度等級（N）懸浮粒子最大濃度的限值。 2 對于非整數(shù)潔凈度等級，其對應(yīng)于粒子粒徑 D（μm）的最大濃度限值（Cn）， 應(yīng)按下列公式計(jì)算求取 Cn. 3 潔凈度等級定級的粒徑范圍為 0.1~5.0μm，用于定級的粒徑數(shù)不應(yīng)大于 3 個(gè)，且其粒徑的順 序差不應(yīng)小于 1.5 倍。

4.6.２.全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度Ｎ的 95%置信上限值，應(yīng)小于或等于潔凈度等級規(guī) 定的限值。即：

式中 N 室內(nèi)各測點(diǎn)平均含塵濃度，N=∑Ci/n; n 測點(diǎn)數(shù)；

s 室內(nèi)各測點(diǎn)平均含塵濃度 N 的標(biāo)準(zhǔn)差：

t 置信度上限位 95%時(shí)，單側(cè) t 分布的系數(shù)，見表 B.4.6-2。

表 B.4.6-2 t 系 數(shù)

點(diǎn)數(shù)	2	3	4	5	6	7~9
t	6.3	2.9	2.4	2.1	2.0	1.9

4.7.每次測試應(yīng)做記錄，并提交性能合格或不合格的測試報(bào)告。測試報(bào)告應(yīng)包括 以下內(nèi)容：

① 測試機(jī)構(gòu)的名稱、地址；

② 測試日期的測試者簽名；

③ 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號(hào)及標(biāo)準(zhǔn)實(shí)施日期；

④ 被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、采樣點(diǎn)的特定編號(hào)及坐標(biāo)圖；

⑤ 被測潔凈室或潔凈區(qū)的空氣潔凈度等級、被測粒徑（或沉降菌、浮游菌）、被測 潔凈室所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差；

⑥ 測量用的儀器的編號(hào)和標(biāo)定證書；測試方法細(xì)則及測試中的特殊情況；

⑦ 測試結(jié)果包括在全部采樣點(diǎn)坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度（或沉降菌、浮游菌 的的菌落數(shù)）；

⑧ 對異常測試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理。

5.室內(nèi)浮游菌和沉降菌的檢測

5.1.微生物檢測方法有空氣懸浮微生物法和沉降微生物法兩種，采樣后的基片（或平皿）經(jīng)過恒溫箱內(nèi)３７℃、４８h 的培養(yǎng)生成菌落后進(jìn)行計(jì)數(shù)。使用的采樣器皿 和培養(yǎng)液必須進(jìn)行消毒滅菌處理。采樣點(diǎn)可均勻布置或取代代表性地域布置。

5.2.懸浮微生物法應(yīng)采用離心式、狹逢式和針孔式等碰擊式采樣器，采樣時(shí)間 應(yīng)根據(jù)空氣中微生物濃度來決定，采樣點(diǎn)數(shù)可與測定空氣潔凈度測點(diǎn)數(shù)相同。各種采樣 器應(yīng)按儀器說明書規(guī)定的方法使用。沉降微生物法，應(yīng)采用直徑９０mm 培養(yǎng)皿，在采樣點(diǎn)上沉降３０mm 后進(jìn)行采樣， 培養(yǎng)皿最少采樣數(shù)應(yīng)符合表Ｂ.５.２的規(guī)定。

5.3.制藥廠潔凈室（包括生物潔凈室）室內(nèi)浮游菌和沉降菌測試，也可采用按 協(xié)議確定的采樣方案。

表 B5.2 最少培養(yǎng)皿數(shù)

空氣潔凈度級別	培養(yǎng)皿數(shù)
＜5	44
5	14
6	5
≥7	2

5.4.用培養(yǎng)皿沉降菌，用碰撞式采樣器或過濾采樣器測定游浮菌，還應(yīng)遵守以 下規(guī)定：

① 采樣裝置采樣前的準(zhǔn)備及采樣后的處理，均應(yīng)在設(shè)游高效空氣過濾器排風(fēng)的負(fù) 壓實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行操作，該實(shí)驗(yàn)室的溫度應(yīng)為２２±２℃；相對濕度為５０％±１０％；

② 采樣儀器應(yīng)消毒滅菌；

③ 采樣器選擇應(yīng)審核其精度和效率，并有合格證書；

④ 采樣裝置的排氣不應(yīng)污染潔凈室；

⑤ 沉降皿個(gè)數(shù)及采樣點(diǎn)、培養(yǎng)基及培養(yǎng)溫度、培養(yǎng)時(shí)間應(yīng)按有關(guān)規(guī)范的規(guī)定執(zhí)行；

⑥ 浮游菌采樣器的采樣率宜大于１００Ｌ／min；

⑦ 碰撞培養(yǎng)基的空氣速度應(yīng)小于２０m/s。

6.室內(nèi)空氣溫度和相對濕度的檢測

6.1.根據(jù)溫度和相對濕度波動(dòng)范圍，應(yīng)選擇相應(yīng)的具有足夠精度的儀表進(jìn)行測 定。每次測定時(shí)間隔不應(yīng)大于３０min。

6.2.室內(nèi)測定布置：

① 送回風(fēng)口處；

② 恒溫工作區(qū)具有代表性的地點(diǎn)（如沿著工藝設(shè)備周圍布置或等距離布置）；

③ 沒有恒溫要求的潔凈室中心；

④ 測點(diǎn)一般應(yīng)布置在距外墻表面大于０.５m，離地面０.８m 的同一高度上；也可 以根據(jù)恒溫區(qū)的大小，分別布置在離地不同高度的幾個(gè)平面上。

６.３.測點(diǎn)數(shù)應(yīng)符合表Ｂ.６.１的規(guī)定。

表 B.6.1 溫、溫度測點(diǎn)數(shù)

波動(dòng)范圍	室面積《50m2	每增加 20~50m2
Δt=±0.5~±2℃	5 個(gè)	增加 3~5 個(gè)
ΔRH=±5℅~±10℅
Δt≤±0.5℃	點(diǎn)間距不應(yīng)大于 2m，點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于 5 個(gè)
ΔRH≤±5℅

６.４.有恒溫恒濕要求的潔凈室。室溫波動(dòng)范圍按各測點(diǎn)的各次溫度中偏差控制 點(diǎn)溫度的最大值，占測點(diǎn)總數(shù)的百分比整理成累積統(tǒng)計(jì)曲線。如９０％以上測點(diǎn)偏差值 在室溫波動(dòng)范圍內(nèi)，為符合設(shè)計(jì)要求。反之，為不合格。

區(qū)域溫度以各測點(diǎn)中最低的一次測試溫度為基準(zhǔn)，各測點(diǎn)平均溫度與超偏差值的點(diǎn) 數(shù)，占測點(diǎn)總數(shù)的百分比整理成累計(jì)統(tǒng)計(jì)曲線，９０％以上測點(diǎn)所達(dá)到的偏差值為區(qū)域 溫差，應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。相對溫度波動(dòng)范圍可按室溫波動(dòng)范圍的規(guī)定執(zhí)行。

7.單向流潔凈室截面平均速度，速度不均勻度的檢測

7.1.潔凈室垂直單向流和非單向流應(yīng)選擇距離或圍護(hù)結(jié)構(gòu)內(nèi)表面大于０.５m，離地面高度０.５～１.５m 作為工作區(qū)。水平單向流以距送風(fēng)墻或圍護(hù)結(jié)構(gòu)內(nèi)表面０. ５m 處的縱斷面為第一工作面。

7.2.測定截面的測點(diǎn)數(shù)和測定儀器應(yīng)符合本規(guī)范第６.３條的規(guī)定。

7.3.測定風(fēng)速應(yīng)用測定架固定風(fēng)速儀，以避免人體干擾。不得不用手持風(fēng)速儀測定時(shí)，手臂應(yīng)伸至最長位置，盡量使人體遠(yuǎn)離測頭。

7.4.室內(nèi)氣流流形的測定，宜采用發(fā)煙或懸掛絲線的方法，進(jìn)行觀察測量與記錄。然后，標(biāo)在記錄的送風(fēng)平面的氣流流形圖上。一般每臺(tái)過濾器至少對應(yīng)１各觀察點(diǎn)。 風(fēng)速的不均勻度β０按下列公式計(jì)算，一般β０值不應(yīng)大于０.２５。

式中. v——各測點(diǎn)風(fēng)速的平均值；s——標(biāo)準(zhǔn)差。

８.室內(nèi)噪聲的檢測

8.1.測噪聲儀器應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計(jì)．

8.2.測點(diǎn)布置應(yīng)按潔凈室面積均分，每５０m2 設(shè)一點(diǎn)．測點(diǎn)位于其中心，距 地面１.１～１.５m 高度處或按工藝要求設(shè)定。

 

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