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    針對(duì)多晶硅項(xiàng)目潔凈廠房施工技術(shù)總結(jié)

    華銳凈化 2019-09-08 10:54:11 閱讀

    潔凈技術(shù)的現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)

    1.1.  潔凈室凈化原理

    1.1.1. 潔凈廠房?jī)?nèi)不允許有存積灰塵的地方。

    1.1.2. 凈化程序  氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→通風(fēng)管道→高效過(guò)濾器→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化。重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。

    1.1.3. 凈化參數(shù)

    1)  換氣參數(shù) 100000≧15次,1000≧30次

    2)  壓差  主車間相鄰房間≧5Pa

    3)  溫度  冬季﹥16℃±2℃  夏季﹤26℃±2℃

    4)  濕度  45%~65%

    5)  噪聲≤65Db(A)

    6)  新風(fēng)補(bǔ)風(fēng)量為總風(fēng)量的10%~30%

    潔凈技術(shù)需要有潔凈廠房和潔凈設(shè)備來(lái)支撐,潔凈室是潔凈廠房的核心。

    1.2.  潔凈廠房是指生產(chǎn)工藝有空氣潔凈要求的廠房。潔凈廠房是一個(gè)系統(tǒng)工程,它由空調(diào)機(jī)、供熱、供冷、送回風(fēng)管、過(guò)濾、自控等系統(tǒng)組成。潔凈級(jí)別要求高的,還有風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)、局部層流罩、墻板、地面組成。

    1.3.  潔凈技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域

    1.3.1. 主要應(yīng)用領(lǐng)域:電子、制藥、醫(yī)療、衛(wèi)生、食品、化妝品和軍工。

    1.3.2. 中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展為潔凈技術(shù)在國(guó)內(nèi)的普及創(chuàng)造了新機(jī)遇。

    1.3.3. 蓬勃發(fā)展的中國(guó)醫(yī)藥行業(yè)為潔凈行業(yè)拓寬了市場(chǎng),GMP《藥品生產(chǎn)管理規(guī)范》是藥品生產(chǎn)的質(zhì)量保證,它體現(xiàn)了對(duì)藥品生產(chǎn)的全過(guò)程控制的要求,對(duì)生產(chǎn)中影響質(zhì)量的主要因素提出了基本控制要求,產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量是靠潔凈技術(shù)來(lái)保證的。醫(yī)療衛(wèi)生事業(yè)的發(fā)展也要求潔凈手術(shù)室的需求量必須增加。

    1.4.  潔凈廠房的結(jié)構(gòu)材料

    1)  凈化廠房墻、頂板采用75mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。

    2)  圓弧墻角、門等采用專用氧化鋁型材制造。

    3)  地面采用環(huán)氧自流坪,保證潔凈室潔凈度。

    4)  送回風(fēng)管采用熱鍍鋅鋼板制作。

    5)  高效送風(fēng)采用不銹鋼框架,美觀清潔;沖網(wǎng)板采用烤漆鋁板,不生銹、不產(chǎn)塵、易清潔。

    1.5.   潔凈廠房發(fā)展趨勢(shì)

    越來(lái)越多的工業(yè)部門都必須在潔凈的環(huán)境下實(shí)現(xiàn)某些類型的生產(chǎn)工藝,潔凈技術(shù)的典型應(yīng)用開(kāi)始于化工,藥品生產(chǎn),精密機(jī)械制造、光學(xué)、微電子,現(xiàn)在其它許多新興工業(yè)部門應(yīng)用,如微系統(tǒng)技術(shù)、生物技術(shù)、傳感器技術(shù)、仿生學(xué),在所有這些生產(chǎn)領(lǐng)域,對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的要求一直在增加。對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境的要求也是如此,即使是由各種不同德因素造成的最小污染,也會(huì)導(dǎo)致高比例的有缺陷產(chǎn)品、廢品,因此,必須將影響質(zhì)量的環(huán)境因素降至最低,保證優(yōu)化生產(chǎn)工藝成本,同時(shí)使合格產(chǎn)品的產(chǎn)出達(dá)到最大,廢品最少。

    潔凈技術(shù)的發(fā)展呈現(xiàn)如下明顯的趨勢(shì):

    1)  在已采用潔凈室技術(shù)的生產(chǎn)中,各部分對(duì)潔凈技術(shù)的要求在增加。

    2)  對(duì)越來(lái)越多的公司、工業(yè)部門和產(chǎn)品而言,潔凈廠房已成為其一個(gè)組成部分。

    3)  潔凈產(chǎn)品的生產(chǎn)廠商將他們對(duì)潔凈度的要求轉(zhuǎn)移到所有原材料生產(chǎn)上,所有供貨商也不得不采用潔凈生產(chǎn)技術(shù)。

    4)  技術(shù)要求的復(fù)雜性越來(lái)越高,技術(shù)合作應(yīng)運(yùn)而生。

    5)  在技術(shù)保障中應(yīng)用潔凈技術(shù)。

    采用潔凈廠房作為生產(chǎn)技術(shù)環(huán)境的質(zhì)量保障,已為許多產(chǎn)品和工藝所必須的。質(zhì)量越來(lái)越成為高技術(shù)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)中的關(guān)鍵因素,潔凈技術(shù)因此也成為一項(xiàng)不可缺的技術(shù)。

     

    施工過(guò)程質(zhì)量控制要點(diǎn)

    2.1.   施工質(zhì)量控制的主要方面

    重視施工組織設(shè)計(jì)的審查,重點(diǎn)審查風(fēng)管預(yù)制程序及做法是否符合施工規(guī)范要求及工程特點(diǎn)、潔凈室細(xì)部做法,空調(diào)機(jī)安裝實(shí)施方案,初、中、高效過(guò)濾器安裝能否保證潔凈要求,尤其是高效過(guò)濾器的安裝程序。其次就是潔凈廠房大面積地坪施工防裂措施。

    2.2.   施工過(guò)程質(zhì)量控制要點(diǎn)

    2.2.1. 對(duì)進(jìn)場(chǎng)材料設(shè)備的驗(yàn)收程序一定要嚴(yán)格把關(guān),這是第一步;風(fēng)管材質(zhì)要符合設(shè)計(jì)要求,對(duì)原材脫脂工序堅(jiān)持全檢。

    2.2.2. 地坪施工時(shí)防止大面積地坪出現(xiàn)裂縫,導(dǎo)致環(huán)氧自流坪開(kāi)裂,破環(huán)潔凈廠房的潔凈度及美觀。在大面積回填夯實(shí)時(shí)嚴(yán)格保證施工質(zhì)量,杜絕回填質(zhì)量失控。施工時(shí)將新老混凝土結(jié)構(gòu)層沖洗干凈,避免出現(xiàn)局部空鼓、開(kāi)裂。

    2.2.3. 風(fēng)管預(yù)制主要注意控制制作環(huán)境、加工儲(chǔ)存的環(huán)境和加工部件的清潔及密封。

    2.2.4. 潔凈廠房風(fēng)管的安裝必須保證有一個(gè)清潔的環(huán)境,并且在管道、電氣、風(fēng)管及土建施工必須按照一個(gè)合理的程序進(jìn)行施工,才能保證風(fēng)管安裝后的潔凈性和嚴(yán)密性。

    2.2.5. 空調(diào)機(jī)組的試運(yùn)轉(zhuǎn)要脫開(kāi)風(fēng)管系統(tǒng),漏風(fēng)量測(cè)試。

    2.2.6. 潔凈室壁板除檢查平整度、垂直度外,主要控制密封狀況,包括門窗的密封,水電氣孔洞密封,以及表面清潔要使用無(wú)脫落纖維織物搽拭。

    2.2.7. 交叉施工,主要是自流坪施工,潔凈廠房一定要防止施工過(guò)程產(chǎn)生的二次污染。自流坪地面施工,有對(duì)地坪打磨的工序,要使用自身帶吸塵裝置的打磨機(jī)。自流坪地面面層施工要掌握好時(shí)機(jī),做早了交叉施工易造成損傷。

    2.2.8. 高效過(guò)濾器安裝。安裝前風(fēng)管要先行吹掃,過(guò)濾器必須進(jìn)行檢漏試驗(yàn),必要時(shí)全面檢驗(yàn),這是保證潔凈度的關(guān)鍵工序。安裝過(guò)程要符合規(guī)范要求。

    2.2.9. 施工過(guò)程中人員流動(dòng)、工器具搬移和操作人員著裝要實(shí)行嚴(yán)格管制。第九凈化廠房地面平整度要求較高。 FFU噪聲是質(zhì)量控制的一個(gè)難點(diǎn),規(guī)范規(guī)定房間噪音應(yīng)小于等于65分貝,主要是要選好廠家,并重視安裝過(guò)程中隔振措施。噪音過(guò)大操作人員長(zhǎng)時(shí)間工作會(huì)造成損傷。

    2.2.10.    普通空調(diào)房間送風(fēng)口散流器及回風(fēng)口選型也是重點(diǎn),質(zhì)量差的,風(fēng)速大時(shí)易引起振動(dòng)造成噪音。

    2.2.11.  凈化廠房的風(fēng)管及各種管線、橋架都設(shè)置于技術(shù)夾層內(nèi),由于檢查不便,往往形成死角,特別要注意各種管線的標(biāo)高,作業(yè)前先進(jìn)行圖上復(fù)核,然后實(shí)地復(fù)驗(yàn),以便及早發(fā)現(xiàn)管線交叉打架。

    2.2.12.  技術(shù)夾層及技術(shù)夾道密封膠封閉,夾道在封閉前將雜物清理干凈。

     

    潔凈廠房給排水管道安裝

    3.1.  潔凈廠房給排水安裝的一般規(guī)定

    3.1.1. 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水及排水干管應(yīng)敷設(shè)在夾層內(nèi),引入潔凈室的支管應(yīng)明敷。

    3.1.2. 管道穿過(guò)結(jié)界室吊頂時(shí)頂棚墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管,管道于夾套管之間采用可靠的密封措施。

    3.1.3. 消防箱的安裝與潔凈版施工相互配合,才能保證工期,而且保證消防箱安裝的美觀,實(shí)用。

    3.1.4. 施工中的問(wèn)題及處理:

    3.1.5. 管道的預(yù)留洞位置被設(shè)備擋住及不合理,需重新打洞

    3.1.6. 現(xiàn)場(chǎng)安裝主管,避免預(yù)制的管道因不合適而出現(xiàn)返工的情況發(fā)生。

    3.1.7. 消防箱安裝后,因施工區(qū)域人員復(fù)雜,造成箱體損壞,部分箱體生銹,進(jìn)行除銹刷油漆

     

    潔凈廠房通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)施工

    近年來(lái),潔凈空調(diào)在科研、醫(yī)療、高科技產(chǎn)品生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)室以及電子產(chǎn)品、精密儀器生產(chǎn)領(lǐng)域的使用已越來(lái)越廣泛。隨著潔凈空調(diào)使用范圍的不斷擴(kuò)大,潔凈度的等級(jí)也在提高。潔凈空調(diào)系統(tǒng)的技術(shù)要求、施工質(zhì)量要求高,投資大,一旦失敗,無(wú)論從財(cái)力、物力、人力上講都會(huì)造成浪費(fèi),因此要搞好潔凈空調(diào)系統(tǒng),除完善的設(shè)計(jì)圖紙以外,還要求高質(zhì)量高水平的施工。潔凈廠房廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、食品、生物工程、電子、航空、航天領(lǐng)域。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步、產(chǎn)品質(zhì)量的提高、電子、航空、航天產(chǎn)業(yè)對(duì)潔凈廠房的需求越來(lái)越多,要求越來(lái)越高。

    4.1.  主要工藝流程及主要操作要點(diǎn)

    現(xiàn)場(chǎng)準(zhǔn)備→材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收→板材清洗→板材劃線→裁剪下料→咬口成形→法蘭鉚接→風(fēng)管對(duì)口堆放→風(fēng)管安裝前擦洗→風(fēng)管安裝→現(xiàn)場(chǎng)安裝后保護(hù)。

    4.2.  主要工序控制要點(diǎn)

    4.3.  現(xiàn)場(chǎng)準(zhǔn)備

    凈化風(fēng)管的制作,一般可分為工廠集中制作和施工現(xiàn)場(chǎng)制作兩種方式。無(wú)論采取那種預(yù)制方式,制作場(chǎng)地均要求封閉、清潔,地面為水泥地面或鋪設(shè)金屬鋼板,面積一般不小于100m2,且采光、照明條件良好,同時(shí)應(yīng)有足夠的風(fēng)管堆放場(chǎng)所。大群多晶硅項(xiàng)目一期及一期擴(kuò)建均采用在預(yù)制廠能制作風(fēng)管。

    4.4.   材料進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn)

    凈化系統(tǒng)風(fēng)管如采用鍍鋅鋼板預(yù)制時(shí),鍍鋅層為100號(hào)以上的經(jīng)檢查鍍鋅板表面應(yīng)無(wú)明顯劃痕和氧化、銹蝕斑點(diǎn)。

    4.5.   板材表面清洗

    需要下料制作風(fēng)管的板(卷)材,用對(duì)材質(zhì)表面無(wú)損傷的清洗液進(jìn)行清洗,去除材質(zhì)表面的油污和積塵,用清潔水清洗掉材質(zhì)表面的清洗液,并用干凈棉布(紗)將水液擦掉,待其完全干燥后架空待用。

    4.6.   板材放樣劃線

    板材放樣劃線時(shí),要防止損傷板材表面,應(yīng)使用不生塵的色筆劃線,放樣前應(yīng)考慮盡可能減少風(fēng)管的縱向接縫,而且風(fēng)管橫向不得有接縫。對(duì)在劃線中無(wú)法避免損壞板材表面的,彩色涂層鋼板,應(yīng)在受損處涂環(huán)氧樹(shù)脂漆;鍍鋅鋼板,應(yīng)在受損處涂環(huán)氧鋅黃漆進(jìn)行保護(hù)。

    4.7.  板材裁剪下料

    鍍鋅板裁剪下料時(shí),盡可能采用機(jī)械方法裁剪,這樣可減少對(duì)鍍鋅板面的損傷。為了能有效保護(hù)板面,應(yīng)在剪板機(jī)臺(tái)面上鋪一層薄鍍鋅鋼板,這樣可防止板材下料中推進(jìn)拉出磨損鍍鋅層。

    4.8.  空調(diào)潔凈風(fēng)管制作采用機(jī)械咬口,板材的拼接采用單咬口,矩形風(fēng)管轉(zhuǎn)角采用聯(lián)合角。

    4.9.  法蘭鉚接

    法蘭與風(fēng)管鉚接時(shí),風(fēng)管應(yīng)稍小于法蘭,且法蘭螺栓孔和鉚釘孔間距不得大于100 mm,在排列法蘭螺栓孔時(shí)矩形法蘭盡可能四角設(shè)有螺栓孔,這樣有利于安裝后連接緊密。法蘭鉚接后,風(fēng)管翻邊要平整,并緊貼法蘭平面,翻邊的寬度應(yīng)≦7mm,且翻邊處的裂縫和法蘭與風(fēng)管接合部四角處需涂抹密封膠。外法蘭與風(fēng)管鉚接不得使用抽芯鉚釘,應(yīng)使用鍍鋅鐵鉚釘。

    4.10.  風(fēng)管存放

    預(yù)制成形的風(fēng)管,暫不安裝,用塑料布將各管口包扎好,盡可能按系統(tǒng)編號(hào)在室內(nèi)集中堆放。在室外堆放時(shí),風(fēng)管下部應(yīng)放置墊木,上部用彩條布進(jìn)行遮蓋風(fēng)管,以防雨、防風(fēng)沙及防暴曬。

    4.11.  風(fēng)管安裝前清洗

    采購(gòu)的鋼板表面涂有大量的油脂,若不清洗干凈,則會(huì)在運(yùn)輸、安裝及以后的運(yùn)行過(guò)程中染塵,長(zhǎng)期使用過(guò)程中可能導(dǎo)致一次性的積塵飛揚(yáng),使過(guò)濾器前的空氣含塵濃度突然增大,這對(duì)高效過(guò)濾器的使用很不利,所以必須對(duì)潔凈風(fēng)管、靜壓箱及系統(tǒng)部件在安裝前應(yīng)進(jìn)行全面清洗。清洗液應(yīng)選用對(duì)板材表面無(wú)腐蝕,干燥后不產(chǎn)塵的。清洗的目的主要是除塵和脫脂。除塵可用清水或純水加中性清洗劑,脫脂的方法可用工業(yè)酒精?,F(xiàn)場(chǎng)采用清水和工業(yè)酒精清洗風(fēng)管清洗時(shí)先用清洗液清洗,然后用清水清洗,最后用干凈白布將水痕擦干,如暫時(shí)不安裝時(shí),亦可自然風(fēng)干,但干燥后需將風(fēng)口封閉好。用白綢布檢驗(yàn)。不變色為合格,合格以后的風(fēng)管立即用塑料薄膜封口處理。


    用工業(yè)酒精清洗風(fēng)管,清洗完的風(fēng)管用塑料薄膜封口處理

    4.11.1.風(fēng)管及部件安裝

    (1)風(fēng)管法蘭連接處的墊料,應(yīng)選擇不透氣、不產(chǎn)塵、彈性好不易老化的材料,采用軟橡膠板等組成,墊料的厚度5~8mm,接頭處應(yīng)加工成階梯形或榫接,嚴(yán)禁直接對(duì)接。

    (2)潔凈室的送風(fēng)采用頂板送風(fēng)、底部回風(fēng)的方式。潔凈風(fēng)管安裝順序:從主管根部開(kāi)始向前安裝,先安裝回風(fēng)立管,在安裝水平風(fēng)管。技術(shù)夾層內(nèi)風(fēng)管在地面組裝后,在未做保溫前應(yīng)進(jìn)行漏光檢查,根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)情況可按內(nèi)漏光或外漏光檢查,在漏光處需補(bǔ)密封膠,直至無(wú)漏光時(shí)方可進(jìn)行保溫。

    (3)對(duì)于等級(jí)較高的凈化系統(tǒng)的送回風(fēng)總管和支干管,在地面組對(duì)后除做漏光檢查外,還應(yīng)做漏風(fēng)量測(cè)試。對(duì)于較小的系統(tǒng)可在風(fēng)管安裝后測(cè)試,對(duì)于較大的系統(tǒng)盡可能在地面分段組裝后進(jìn)行,這樣便于發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)處理。

    (4)潔凈風(fēng)管的吊裝就位與普通風(fēng)管一樣,所使用的吊桿、橫擔(dān)、膨脹螺栓、保溫風(fēng)管下部墊木等符合有關(guān)規(guī)范和質(zhì)量驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

    4.11.2.風(fēng)管安裝后的防護(hù)

    風(fēng)管安裝后,對(duì)暫不安裝的風(fēng)管口、過(guò)濾器口等敞口部位,要及時(shí)用塑料布妥善包扎,防止現(xiàn)場(chǎng)灰塵進(jìn)入已清洗后的風(fēng)管內(nèi),從而造成管內(nèi)二次污染。

    凈化通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的預(yù)制與安裝涉及過(guò)程較長(zhǎng),環(huán)節(jié)較多,所以無(wú)論在哪個(gè)環(huán)節(jié)控制不嚴(yán),都可能造成整個(gè)系統(tǒng)潔凈度達(dá)不到設(shè)計(jì)要求而返工。

    4.12.  通風(fēng)、空調(diào)設(shè)備安裝

    4.12.1.本工程凈化空調(diào)系統(tǒng)采用“AHU+FFU”,即組合式空調(diào)機(jī)組和風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元FFU是一種自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。FFU一般用于大面積千級(jí)及百級(jí)潔凈區(qū)域。原因是在大面積區(qū)域使用FFU,當(dāng)某個(gè)設(shè)備由于電機(jī)、電路故障無(wú)法正常工作時(shí),室內(nèi)仍可基本保證潔凈度,不影響車間生產(chǎn)。如果采用潔凈空調(diào)機(jī)組,電機(jī)壞了整個(gè)潔凈廠房。所以FFU適用與電子類千級(jí)以上連續(xù)生產(chǎn)潔凈廠房使用。

    4.12.2.由于FFU本身只是通風(fēng)過(guò)濾設(shè)備,并沒(méi)有新風(fēng)補(bǔ)充及冷熱源,因此在使用時(shí)必必須由新風(fēng)空調(diào)機(jī)組供新風(fēng)。

    4.12.3.風(fēng)管與FFU連接時(shí)才有不產(chǎn)塵材質(zhì)的柔性風(fēng)管連接。預(yù)先做好尺寸準(zhǔn)確配接管,經(jīng)潔凈處理驗(yàn)收后封好兩端,運(yùn)到現(xiàn)場(chǎng)啟封安裝,敞口時(shí)間不得過(guò)長(zhǎng),并要確保污物灰塵不侵入風(fēng)管或設(shè)備之內(nèi)。

    風(fēng)淋室安裝 潔凈廠房

     

    4.12.4.高效過(guò)濾器安裝

    ①、高效過(guò)濾器安裝前必須逐個(gè)檢查,過(guò)濾器濾紙應(yīng)無(wú)裂縫針孔及其他損壞 (可用強(qiáng)光檢查),其外型尺寸不允許超過(guò)±1㎜,對(duì)角線尺寸的誤差應(yīng)不超過(guò)±1.5㎜。

    ②、高效過(guò)濾器必須待潔凈風(fēng)管安裝完畢,并全面潔掃、吹洗和試車達(dá)到潔凈要求,經(jīng)檢查后立即安裝就位。

    ③、過(guò)濾器與框架之間密封墊料應(yīng)定位粘貼在過(guò)濾器邊框上,粘貼前先除凈過(guò)濾邊框上的污物。

    ④、安裝時(shí)應(yīng)注意外框上的箭頭要與氣流萬(wàn)向一致,不得裝反,不得用頭、手或工具等觸摸濾紙,以防損壞。

     

    圍護(hù)結(jié)構(gòu)施工技術(shù)

    圍護(hù)結(jié)構(gòu)采用75厚巖棉夾芯彩鋼板壁板,50厚夾芯彩鋼頂板。總面積約為6000平方,施工依據(jù)為《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》(GB50591-2010)。

    5.1.潔凈板施工流程


    5.2.彩鋼夾芯板安裝

    5.2.1. 材料進(jìn)場(chǎng),潔凈廠房構(gòu)件應(yīng)按施工進(jìn)度計(jì)劃要求,運(yùn)抵安裝現(xiàn)場(chǎng),輕搬輕放,避免劃傷,并分類整齊堆放,嚴(yán)加保管。

    5.2.2. 測(cè)量放線,嚴(yán)格對(duì)照施工圖,現(xiàn)場(chǎng)測(cè)定軸線,標(biāo)高尺寸,清理安裝現(xiàn)場(chǎng),準(zhǔn)確放出大樣。壁板安裝前必須嚴(yán)格放線,墻角應(yīng)垂直交接,防止累積誤差造成壁板傾斜扭曲。壁板的垂直度偏差不大于0.2%。

    5.2.3. 材料檢驗(yàn),潔凈室構(gòu)配件材料安裝前,嚴(yán)格檢查其規(guī)格性能和完好程度,不合格或已損壞的構(gòu)配件材料嚴(yán)禁安裝。

    5.2.4. 現(xiàn)場(chǎng)清理,安裝現(xiàn)場(chǎng)必須隨時(shí)保持清潔,無(wú)積塵,并在施土過(guò)程中對(duì)零部件和場(chǎng)地隨時(shí)清掃、擦凈。

    5.2.5. 結(jié)構(gòu)連接,在施工安裝時(shí),應(yīng)首先進(jìn)行吊件、鉚固件等主體結(jié)構(gòu)和樓面、地面的連接件的固定。

    5.3.施工操作

    5.3.1. 按施工程序和金屬壁板安裝工藝節(jié)點(diǎn)具體要求進(jìn)行施工。

    5.3.2. 地馬槽與地坪的連接必須牢固,不得松動(dòng),用射釘間隔100mm左右將地馬槽固定在地面上。裝地馬槽之間的垂直連接處應(yīng)做好拼縫、拼角連接或預(yù)留出R球的位置。

    5.3.3. 壁板與辟板連接必須平整無(wú)凹凸,縫隙均勻,注膠平整光滑。安裝時(shí)要用吊線錘控制壁板的垂直度,安裝好的板材做好彼此之間的定,以防止壁板整體傾倒。

    5.3.4. 安裝過(guò)程中不得撕下壁板表面塑料保護(hù)膜,禁止撞擊和踩踏板面。

    5.3.5. 壁板上固定密閉窗,窗框四角鋁合金處理合縫、平整,并且在玻璃安裝之后用橡皮條將玻璃壓緊,還需將窗戶上部和兩邊橡皮條帶膠壓實(shí),以防震動(dòng),橡皮條脫落。

    5.3.6. 過(guò)濾器送風(fēng)口、回風(fēng)口,在壁板安裝時(shí)按照設(shè)計(jì)圖預(yù)留孔要求預(yù)留,避免施工現(xiàn)場(chǎng)開(kāi)孔對(duì)壁板結(jié)構(gòu)的破壞。

    5.3.7. 根據(jù)設(shè)計(jì)要求,潔凈區(qū)內(nèi)壁板與頂板相接形成的各個(gè)陰陽(yáng)角均采用鋁合金圓弧型連接。

    5.3.8. 密封膠應(yīng)平直光滑,不應(yīng)有間斷、外露、毛邊等現(xiàn)象。

    5.3.9. 壁板安裝同時(shí)要配合好電工,將接地扁鐵與地面很好接觸,以消除靜電現(xiàn)象。

    5.3.10.隱蔽驗(yàn)收,在凈化室安裝的施工過(guò)程中必須隨時(shí)清掃灰塵,對(duì)掩蔽空間的清掃應(yīng)做好清掃記錄。

    5.3.11.成品保護(hù),加強(qiáng)成品保護(hù)教育,對(duì)已安裝的成品或半成品嚴(yán)加保護(hù),防止被污染及損壞。嚴(yán)格按順序施工,做到銜接合理,避免因返工造成材料浪費(fèi)、成品受損。

    5.3.12.現(xiàn)場(chǎng)管理,制定凈化區(qū)域施工管理制度,控制人物流造成的區(qū)域污染。


    509單元一樓硅芯爐處潔凈板,通風(fēng)管道施工完

     

    環(huán)氧自流坪施工技術(shù)

    6.1.環(huán)氧自流平采取一道底漆,一道中間層、一道自流平面漆的做法。

    6.2.施工準(zhǔn)備

    6.2.1. 基層檢查及處理

    6.2.2. 基層檢查包括混凝土含水率的測(cè)定、平整度的測(cè)定、強(qiáng)度的測(cè)定。

    6.2.3. 含水率測(cè)定及其處理

    a)  塑料薄膜法(ASTM4263):把45cm×45cm塑料薄膜平放在混凝土表面,用膠帶紙密封四邊16小時(shí)后,薄膜下出現(xiàn)水珠或混凝土表面變黑,說(shuō)明混凝土過(guò)濕,不宜涂裝。

    b)  氯化鈣測(cè)定法:測(cè)定水分從混凝土中逸出的速度,是一種間接測(cè)定混凝土含水率的方法。測(cè)定密封容器中氯化鈣在72h后的增重,其值應(yīng)≤46.8g/m2。

    c)  混凝土含水率應(yīng)小于9%,否則應(yīng)排除水分后方可進(jìn)行涂裝。排除水分的方法有以下幾種:

    通風(fēng):加強(qiáng)空氣循環(huán),加速空氣流動(dòng),帶走水分,促進(jìn)混凝土中水分進(jìn)一步揮發(fā)。

    加熱:提高混凝土及空氣的溫度,加快混凝土中水份遷移到表層的速率,使其迅速蒸發(fā),宜采用強(qiáng)制空氣加熱或輻射加熱。直接用火源加熱時(shí)生成的燃燒產(chǎn)物(包括水),會(huì)提高空氣的霧點(diǎn)溫度,導(dǎo)致水在混凝土上凝結(jié),不宜采用。

    降低空氣中的露點(diǎn)溫度:用脫水減濕劑、除濕器或引進(jìn)室外空氣(引進(jìn)室外空氣露點(diǎn)低于混凝土表面及上方的溫度)等方法除去空氣中的水汽。

    6.2.4. 采用工業(yè)吸塵機(jī)進(jìn)行地面的吸塵,清除表面的浮塵。

    6.2.5. 采用高溫火焰噴槍和溶劑清洗的方式清除表面的油污。

    6.2.6. 采用磨光機(jī)將表面拉毛,尤其是玻璃條的打磨處理。

    6.3.   環(huán)氧地面施工要點(diǎn)

    6.3.1. 地面清理,去除地表面的松動(dòng)表層。

    6.3.2. 環(huán)氧砂漿對(duì)地面進(jìn)行修補(bǔ)。

    6.3.3. 底漆施工:根據(jù)材料配比進(jìn)行配制,在規(guī)定時(shí)間內(nèi)上涂。

    6.3.4. 中涂施工:中涂施工比較關(guān)鍵,將環(huán)氧色漿、固化劑與適量混合料徑的石英砂充分混合攪拌均勻。中涂層固化后用聚光燈進(jìn)行地面檢查,發(fā)現(xiàn)不平整時(shí),打磨平整,為面涂提供良好表面。

    6.3.5. 面涂施工:將環(huán)氧色漿及固化劑混合均勻后,可鏝涂、刷涂、輥涂或噴涂,使其自流平,獲得平整均勻的表面涂層。面漆施工12小時(shí)后方可上人。

    6.4.   施工驗(yàn)收:表面平整光潔、色彩一致、無(wú)明顯色差。

    6.4.1. 施工面整體無(wú)縫、不起灰。

    6.4.2. 產(chǎn)品不開(kāi)裂、不脫落、不起皮,和基層有良好的附著力。

    6.4.3. 產(chǎn)品表面無(wú)針眼、孔洞、旋渦等不良好的現(xiàn)象。

    6.4.4. 顏色均勻,光澤亮麗。

    6.4.5. 產(chǎn)品表面硬化均勻。

    6.4.6. 自流平地板達(dá)到產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)所列的標(biāo)準(zhǔn)。

    6.5.注意事項(xiàng):避免在低溫高濕條件下施工;雙組份混合后,應(yīng)盡快在使用期內(nèi)用完;涂裝完成后,應(yīng)充分保養(yǎng)后,才能投入使用;應(yīng)根據(jù)基材平整度狀況和使用要求,確定涂層厚度。地面平整度越差,應(yīng)采用越厚的涂裝系統(tǒng),涂層載重越大,涂層應(yīng)越厚,如涂層過(guò)薄,使用過(guò)程中易損壞。

    后處理裝置二樓硅芯爐處還氧自流坪施工完

     

     

    潔凈廠房的系統(tǒng)調(diào)試及綜合性能檢測(cè)

    為滿足甲方生產(chǎn)工藝要求,達(dá)到設(shè)計(jì)要求的潔凈度,對(duì)潔凈室進(jìn)行檢測(cè)。檢測(cè)目的主要分為兩類,其一是竣工驗(yàn)收的檢測(cè),其二是檢查潔凈室是否運(yùn)行正常的檢測(cè)。

    7.1.竣工驗(yàn)收檢測(cè)

    7.1.1. 在潔凈室工程中關(guān)于竣工驗(yàn)收的檢測(cè)分兩個(gè)階段,即竣工驗(yàn)收和潔凈室綜合性能檢測(cè)。按照《GB50591-2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》中規(guī)定竣工驗(yàn)收需要檢測(cè)的項(xiàng)目如下:

    1)  通風(fēng)機(jī)數(shù)量及轉(zhuǎn)速的檢測(cè)

    2)  風(fēng)量測(cè)定及平衡

    3)  室內(nèi)靜壓檢測(cè)及調(diào)整

    4)  自動(dòng)調(diào)節(jié)系統(tǒng)的聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)

    5)  高效過(guò)濾器的檢漏

    6)  室內(nèi)潔凈度級(jí)別

    總之,此時(shí)的檢測(cè)多重于調(diào)整,而且可能反復(fù)進(jìn)行多次。

    7.2.潔凈室綜合性能評(píng)價(jià)檢測(cè)是在竣工驗(yàn)收測(cè)定之后進(jìn)行,需建設(shè)、設(shè)計(jì)、施工單位均需在現(xiàn)場(chǎng)配合,檢測(cè)均在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行的。具體檢測(cè)項(xiàng)目如下:

    7.2.1. 總送風(fēng)量、總回風(fēng)量、新風(fēng)量、排風(fēng)量

    7.2.2. 潔凈工作區(qū)的潔凈度、氣壓值

    7.2.3. 室內(nèi)溫度、濕度

    7.2.4. 室內(nèi)照度、噪音

    7.3.主要檢測(cè)項(xiàng)目分析

    7.3.1. 基本項(xiàng)目的重要性:國(guó)標(biāo)GB50073-2013中規(guī)定:潔凈度、正壓、風(fēng)速或風(fēng)量是三個(gè)基本的必測(cè)項(xiàng)目。

    7.3.1.1.潔凈室需要密閉和維持正壓。作為潔凈室圍護(hù)物的密閉性是必須的,而且在潔凈室內(nèi)必須維持正壓,也就是說(shuō)有不嚴(yán)密處或開(kāi)門時(shí),空氣只能由內(nèi)往外流,外界含塵空氣不能向潔凈室內(nèi)流,很難保證潔凈度,所以在系統(tǒng)調(diào)試正確后,首先檢查正壓是否存在。

    7.3.1.2.通入潔凈室的風(fēng)必須經(jīng)過(guò)凈化,這是形成潔凈室的最主要因素。新風(fēng)進(jìn)入潔凈室需要經(jīng)過(guò)初效、中效和高效三級(jí)過(guò)濾,進(jìn)風(fēng)基本不含0.5um以上的粒子。過(guò)濾器的安裝會(huì)發(fā)生泄漏,過(guò)濾器在運(yùn)輸過(guò)程中也會(huì)發(fā)生不易察覺(jué)的損壞。所以對(duì)過(guò)濾器進(jìn)行抽檢是必要的。

    7.3.1.3.   凈化空氣必須換氣充足。在潔凈室運(yùn)轉(zhuǎn)中,工作人云本身和操作過(guò)程中均會(huì)產(chǎn)生粒子,所以單有進(jìn)風(fēng)過(guò)濾是不夠的,潔凈室內(nèi)所產(chǎn)生的粒子是被不含敏感粒子(或極少)的潔凈空氣所稀釋(亂流),當(dāng)所產(chǎn)生的粒子被稀釋到一定程度隨排風(fēng)流走的時(shí)候,就達(dá)到了一種動(dòng)態(tài)平衡,因此才會(huì)有級(jí)別越高的亂流潔凈室換氣次數(shù)越大(稀釋越充分)的要求。

    7.4.測(cè)試前的準(zhǔn)備

    對(duì)潔凈室內(nèi)及其凈化空調(diào)系統(tǒng)進(jìn)行徹底的檢查與清掃。對(duì)因輸送大風(fēng)量、大風(fēng)速的空氣在一個(gè)出口輸出兒可能會(huì)引起的凈化車間內(nèi)空氣紊亂,塵土飛揚(yáng)污染本身和其它風(fēng)管系統(tǒng)等,可采取一定的技術(shù)措施來(lái)防止,即將風(fēng)管作為負(fù)壓段,送風(fēng)口作為正壓段,循環(huán)吹掃,并將空調(diào)器中的有關(guān)部件拆下。

    高效過(guò)濾器應(yīng)用密封袋封裝,安裝時(shí)方可啟封。為防止運(yùn)輸過(guò)程中無(wú)法預(yù)料的損壞,啟封后首先進(jìn)行逐件透光檢查,并在現(xiàn)場(chǎng)設(shè)簡(jiǎn)易檢測(cè)裝置,如靜壓箱、管道、風(fēng)機(jī),對(duì)高效過(guò)濾器逐個(gè)進(jìn)行塵埃粒于掃描,凡不符合技術(shù)指標(biāo)的均不予裝用,以確保工程質(zhì)量,減少返修工程量。

    7.5.潔凈度測(cè)試方法:

    7.5.1. 嚴(yán)格按照GB50591-2010《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

    7.5.2. 潔凈度的測(cè)試:采用光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器,選取適當(dāng)?shù)臏y(cè)點(diǎn),取樣位置可在作業(yè)區(qū)的正上方,按每立萬(wàn)英尺內(nèi)的0.5Um及以上的塵粒數(shù)確定。

    7.5.3. 溫濕度的測(cè)試:采用溫濕傳感器可分別測(cè)試得溫度和濕度,傳感器應(yīng)裝于作業(yè)區(qū)的附近,測(cè)得的數(shù)據(jù)可在中央管理機(jī)上顯示。

    7.5.4. 室內(nèi)壓力的測(cè)試:使用擴(kuò)散形硅的壓力傳感器上得壓力,輸出信號(hào)一般為4—20mA,這種輸出信號(hào)對(duì)于測(cè)定壓力具有線性。壓力數(shù)值可在中央管理機(jī)上顯示。

    7.5.5. 氣流速度的測(cè)試,使用風(fēng)速儀測(cè)定作業(yè)區(qū)的送風(fēng)面上的風(fēng)速,可計(jì)層流工作區(qū)域的平均風(fēng)速及其均勻性。

    參考文獻(xiàn)

    1.  GB50243—2002《通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

    2.  GB50242—2002《建筑給水排水與采暖工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》

    3.  GB50591-2010《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》

    4.  GB50073—2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》

    5.  陳霖新等《潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工》化學(xué)工業(yè)出版社2003年

    6.  宋功業(yè)等《潔凈廠房工程施工技術(shù)及質(zhì)量控制》機(jī)械工業(yè)出版社2009

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