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    凈化車(chē)間控制溫濕有什么作用?

    華銳凈化 2019-11-29 12:44:21 閱讀


    凈化車(chē)間為什么要控制(control)溫濕度?主要作用是什么,具體有什么措施(指針對(duì)問(wèn)題的解決辦法)?
    凈化車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿(mǎn)足加工工藝的條件下,首選應(yīng)該考慮(consider)人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(Produce)的光刻曝光(exposure)工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅(silicon)片的熱膨脹(inflate)系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅(silicon)片,溫度(temperature)上升1度,就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉(Sodium)的半導(dǎo)體(semiconductor)車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度?!穸冗^(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻(cooling)水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密(precise)裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
    然而對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。成都實(shí)驗(yàn)室裝修實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行試驗(yàn)的場(chǎng)所。實(shí)驗(yàn)室是科學(xué)的搖籃,是科學(xué)研究的基地,科技發(fā)展的源泉,對(duì)科技發(fā)展起著非常重要的作用。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
    1.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。成都實(shí)驗(yàn)室凈化每類(lèi)生物安全防護(hù)實(shí)驗(yàn)室根據(jù)所處理的微生物及其毒素的危害程度各分為四級(jí)。各級(jí)實(shí)驗(yàn)室的生物安全防護(hù)要求依次為:一級(jí)最低,四級(jí)最高。
    2.相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
    3潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。成都實(shí)驗(yàn)室凈化三級(jí)生物安全防護(hù)實(shí)驗(yàn)室結(jié)構(gòu)和設(shè)施、安全操作規(guī)程、安全設(shè)備適用于主要通過(guò)呼吸途徑使人傳染上嚴(yán)重的甚至是致死疾病的致病微生物及其毒素,通常已有預(yù)防傳染的疫苗。
    壓力差的維持依靠新風(fēng)量(定義:單位時(shí)間內(nèi)空氣的流通量),這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透(Osmosis))風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
    對(duì)于亂流潔凈室 由于主要靠空氣的稀釋(dilute)作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這一概念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求;
    1.送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減(attenuation)更快,擴(kuò)散角度(angle)更大。
    2.吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
    在我國(guó),《空氣潔凈技術(shù)措施(指針對(duì)問(wèn)題的解決辦法)》和<潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)))都是這樣規(guī)定的
    垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s
    水平平行流(層流)潔凈室≥0.35 m/s

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