清潔空間的溫濕度重要是依據(jù)工藝請求來判斷，但在滿意工藝請求的前提下，應考慮到人的舒服度感。凈化空調一般凈化工藝流程中各部分相關知識凈化空調箱的一般結構新風、回風段:新風、回風口位置按設計要求可分別在端部、頂部或左右。凈化空調廠家從側重于實際應用的角度，介紹了氣流組織；凈化空調系統(tǒng)；空調凈化設備（包括：空氣過濾器、過濾器送風口及風機過濾器單元、潔凈工作臺、自凈器、凈化單元、裝配式潔凈空、空氣吹淋室、凈化空調機、空氣處理機組、凈化新風機組等）；空氣處理過程；凈化空調工程的設計方法和設計計算；一般工業(yè)潔凈室、生物潔凈室和生物安全潔凈室凈化空調的特點、設計方法、施工要求及節(jié)能和運行管理方面的內容。 本書可作為高等院校相關專業(yè)的“凈化空調”或“空氣潔凈技術”課程的教材，亦可供空氣凈化（空氣潔凈）領域的暖通工程技術人員參考。隨著空氣清潔度請求的進步，呈現(xiàn)了工藝對溫濕度的請求也越來越嚴的趨勢。凈化空調廠家從側重于實際應用的角度，介紹了氣流組織；凈化空調系統(tǒng)；空調凈化設備（包括：空氣過濾器、過濾器送風口及風機過濾器單元、潔凈工作臺、自凈器、凈化單元、裝配式潔凈空、空氣吹淋室、凈化空調機、空氣處理機組、凈化新風機組等）；空氣處理過程；凈化空調工程的設計方法和設計計算；一般工業(yè)潔凈室、生物潔凈室和生物安全潔凈室凈化空調的特點、設計方法、施工要求及節(jié)能和運行管理方面的內容。 本書可作為高等院校相關專業(yè)的“凈化空調”或“空氣潔凈技術”課程的教材，亦可供空氣凈化（空氣潔凈）領域的暖通工程技術人員參考。具體工藝對溫度的請求當前還要列舉，但作為總的準則看，因為加工精度越來越精巧，所以對溫度穩(wěn)定范疇的請求越來越小。例如在大范圍集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板資料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差請求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度回升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時請求濕度值個別較低，因為人出汗當前，對產(chǎn)品將有沾染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。絕對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，假如產(chǎn)生在精巧裝置或電路中，就會引起各種事變。絕對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片名義粘著的灰塵化學吸附在名義難以清除。絕對濕度越高,粘附的越難去掉，但當絕對濕度低于30%時，又因為靜電力的作用使粒子也輕易吸附于名義，同時大量半導體器件輕易產(chǎn)生擊穿。對硅片生產(chǎn)最佳濕度范疇為35-45%。