電子工業(yè)廠房潔凈技術(shù)的發(fā)展

四川華銳凈化 2019-05-02 10:51:35 閱讀

　　摘要：隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在越來(lái)越多的高科技產(chǎn)品來(lái)到了我們面前，因?yàn)楫吘故歉呖萍籍a(chǎn)品，所以它的生產(chǎn)對(duì)于各項(xiàng)生產(chǎn)環(huán)節(jié)和生產(chǎn)工藝的要求也是非常高的。在這其中，對(duì)于生產(chǎn)車間也就是電子工業(yè)廠房的清潔要求也是比較高的，這就是我們需要注意的地方。本文針對(duì)現(xiàn)代電子工業(yè)廠房中的清潔技術(shù)進(jìn)行探討，先論述了現(xiàn)代電子工業(yè)廠房中潔凈技術(shù)的現(xiàn)狀，然后又介紹了一種較為先進(jìn)的新技術(shù)。

眾所周知，現(xiàn)在的電子科技產(chǎn)品都是比較精密高級(jí)的，稍微有一點(diǎn)差別可能就會(huì)導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的報(bào)廢，因此，在生產(chǎn)過(guò)程中應(yīng)該及其注意各個(gè)能夠影響到電子產(chǎn)品生產(chǎn)的因素，其中電子工業(yè)廠房的環(huán)境是對(duì)于目前電子產(chǎn)品生產(chǎn)影響較為嚴(yán)重的一點(diǎn)。目前，眾多的電子工業(yè)廠房中都已經(jīng)采取了各種各樣的技術(shù)來(lái)避免這一危害，也取得了不錯(cuò)的成就，但仍然存在一些缺憾。

　　1電子工業(yè)廠房中潔凈技術(shù)的現(xiàn)狀
　　眾所周知，我國(guó)是個(gè)制造業(yè)生產(chǎn)的大國(guó)，其中電子工業(yè)產(chǎn)品的生產(chǎn)在我國(guó)也是比較多的，因此我國(guó)電子工業(yè)廠房也就發(fā)展的比較迅速，并且目前很多企業(yè)管理者都已經(jīng)意識(shí)到了電子工業(yè)廠房的環(huán)境對(duì)于電子產(chǎn)品的生產(chǎn)的重要意義，也就采取了很多的措施。
　　目前我國(guó)針對(duì)電子工業(yè)廠房的環(huán)境進(jìn)行的管理主要采取的是分區(qū)進(jìn)行的，也就是在不同的分區(qū)采取不同的措施來(lái)進(jìn)行管理。我們先來(lái)看下廠房的分區(qū)，主廠房的一側(cè)為辦公區(qū)，共三層：一層為大廳、一次更衣室等，二層為潔凈更衣室、潔凈服清洗等潔凈廠房的輔助房間，三層為辦公區(qū)；主廠房另一側(cè)為工藝生產(chǎn)區(qū)，根據(jù)生產(chǎn)工藝及建設(shè)期不同可分為五個(gè)區(qū)域，其中三個(gè)區(qū)域有防微振要求，采用典型的三層結(jié)構(gòu)方式，即下夾層、工藝生產(chǎn)區(qū)及上夾層；另外還有一個(gè)區(qū)域?yàn)轭A(yù)留工藝區(qū)，樓板下沉600mm，架設(shè)回風(fēng)隔柵地板；最后一個(gè)區(qū)域區(qū)域?yàn)槠胀▋艋a(chǎn)區(qū)。五個(gè)區(qū)域凈化方式各不相同，下面分別進(jìn)行介紹：第一個(gè)區(qū)域?yàn)橐黄诠こ讨谐饪掏獾钠渌に噮^(qū)，主要包括清洗、刻蝕、外延、氧化擴(kuò)散、離子注入等工序，工藝生產(chǎn)區(qū)平面布局為傳統(tǒng)的海灣式，即工藝設(shè)備放在灰區(qū)（或稱為后區(qū)），操作面設(shè)在前區(qū)。前區(qū)潔凈度要求6 級(jí)，灰區(qū)為7級(jí)。當(dāng)時(shí)資金非常緊張，所以采用傳統(tǒng)的凈化空調(diào)方式，即新、回風(fēng)混合后經(jīng)初、中效過(guò)濾器過(guò)濾，溫濕度處理后經(jīng)風(fēng)機(jī)加壓，再經(jīng)過(guò)設(shè)在吊頂上的高效過(guò)濾器送風(fēng)口過(guò)濾后送入室內(nèi)，通過(guò)回風(fēng)隔柵地板、下技術(shù)夾層回風(fēng)?？照{(diào)器采用臥式組合式空調(diào)器，集中設(shè)置在空調(diào)機(jī)房?jī)?nèi)。通常空調(diào)系統(tǒng)是根據(jù)生產(chǎn)工藝流程并且就近來(lái)進(jìn)行系統(tǒng)劃分，但在此項(xiàng)目中不適用。工藝設(shè)備發(fā)熱量大部分集中在灰區(qū)，前區(qū)發(fā)熱量很小，而前區(qū)的潔凈級(jí)別高，潔凈風(fēng)量大，所需的送風(fēng)溫差很小。相反的，灰區(qū)潔凈級(jí)別相對(duì)較低，滿足潔凈度要求所需潔凈風(fēng)量相對(duì)較小，為消除工藝設(shè)備發(fā)熱量，在溫濕度允許的范圍內(nèi)，盡可能加大送風(fēng)溫差。經(jīng)過(guò)計(jì)算，外延前區(qū)、氧化擴(kuò)散前區(qū)、離子注入前區(qū)劃為一個(gè)系統(tǒng)，送風(fēng)溫差為2.2C；而外延后區(qū)、氧化擴(kuò)散后區(qū)、清洗灰區(qū)、離子注入后區(qū)劃為一個(gè)系統(tǒng)，送風(fēng)溫差為l0C。這樣來(lái)劃分系統(tǒng)，最大限度地節(jié)省冷量及用電量。但相鄰的房間不是一個(gè)系統(tǒng)，一個(gè)系統(tǒng)的幾個(gè)房間分散開很遠(yuǎn)的距離，勢(shì)必造成管道交叉增多，給設(shè)計(jì)及施工增加難度。第二個(gè)區(qū)域?yàn)楣饪涕g，潔凈級(jí)別為5 級(jí)，上夾層為送風(fēng)靜壓箱，吊頂由風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU）+金屬吊頂框架組成，地面為架空回風(fēng)隔柵地板，安裝在防微振平臺(tái)上，保證生產(chǎn)區(qū)的垂直單向流。光刻間面積為450m2，一期工程實(shí)施l60m2，工藝設(shè)備發(fā)熱及圍護(hù)結(jié)構(gòu)、人員、照明等計(jì)算得出實(shí)際需要的消除余熱量很小?？紤]投資因素，沒有采用干冷卻盤管消除余熱的方式，而是選用一臺(tái)組合式空調(diào)器，采用類似于二次回風(fēng)系統(tǒng)的方式，即部分循環(huán)風(fēng)回到空調(diào)器，與經(jīng)初中效過(guò)濾后的新風(fēng)混合，經(jīng)表冷段、加熱段、加濕段及風(fēng)機(jī)加壓，送到上夾層，以保證房間的溫濕度要求。這種做法可減少二次冷凍水循環(huán)系統(tǒng)的投資，并使日常的運(yùn)行管理簡(jiǎn)單化，在當(dāng)時(shí)情況下合理可行。第三區(qū)域?yàn)槎诠こ痰墓に嚿a(chǎn)區(qū)，包括清洗、離子注入、CVD、刻蝕等工序，2003 年開始設(shè)計(jì)并實(shí)施。工藝生產(chǎn)區(qū)平面布局仍為海灣式，但與一期工程相比，工藝設(shè)備對(duì)環(huán)境要求提高，前區(qū)潔凈度提高到5 級(jí)，灰區(qū)仍為7級(jí)。近兩年，國(guó)內(nèi)IC 廠房建設(shè)項(xiàng)目如雨后春筍，操作區(qū)潔凈級(jí)別為5 級(jí)或更高，所以國(guó)內(nèi)市場(chǎng)FFU用量大增，使得價(jià)格很快下降到業(yè)主可以接受的范圍，所以二期工程采用FFU+新風(fēng)系統(tǒng)的方式。FFU的個(gè)數(shù)根據(jù)凈化級(jí)別要求及負(fù)荷計(jì)算確定。IC 廠房生產(chǎn)過(guò)程中散濕量很小，可忽略不計(jì)，新風(fēng)集中處理，由室內(nèi)濕度敏感元件控制新風(fēng)機(jī)組的表冷器上的電動(dòng)閥和蒸汽加濕器的電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，滿足房間的濕度要求。房間的溫度由設(shè)在下夾層的干冷卻盤管保證。循環(huán)風(fēng)經(jīng)干冷卻盤管冷卻后與處理后的新風(fēng)混合，進(jìn)入上部送風(fēng)靜壓室，經(jīng)FFU 加壓、過(guò)濾后送入生產(chǎn)區(qū)，其氣流流程為：回風(fēng)!干冷卻盤管!和新風(fēng)混合!FFU!生產(chǎn)區(qū)!回風(fēng)格柵地板!回風(fēng)。干冷卻盤管的水管上設(shè)電動(dòng)閥，由相應(yīng)房間的溫度敏感元件控制。第四個(gè)區(qū)域?yàn)轭A(yù)留工藝區(qū)，空氣處理過(guò)程與上一區(qū)域相同，區(qū)別在于沒有下夾層，干冷卻盤管只能設(shè)在上夾層。為防止干冷卻盤管或管路漏水，需加裝滴水盤，給安裝、維護(hù)帶來(lái)麻煩。最后一個(gè)區(qū)域一期實(shí)施時(shí)為蒸發(fā)、合金間及磨片間，凈化級(jí)別為6 級(jí)，后因甲方工藝調(diào)整放置外延爐，要求在原有空調(diào)器不更換的條件下進(jìn)行改造，操作面達(dá)到5 級(jí)，溫濕度要求為23 2C，45 10%；灰區(qū)盡可能達(dá)到7 級(jí)，溫濕度要求為18~28C，40~70%。經(jīng)過(guò)核算，原有空調(diào)機(jī)能力剛好能滿足前區(qū)的凈化風(fēng)量，所以建議甲方采用翻轉(zhuǎn)式凈化方式，即前區(qū)與灰區(qū)之間的隔墻下部設(shè)固定百葉風(fēng)口，潔凈風(fēng)全部送到前區(qū)，滿足前區(qū)的溫濕度及潔凈度要求，再通過(guò)百葉風(fēng)口到灰區(qū)，消除房間余熱后，由吊頂上百葉風(fēng)口回到空調(diào)機(jī)。這種做法不能保證灰區(qū)的溫度，只能用在灰區(qū)要求不嚴(yán)格的情況。

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