淺談潔凈廠房的檢測(cè)分析

　　摘 要：筆者參照液晶顯示器面板制造潔凈廠房的實(shí)際特征，針對(duì)高空間、大面積以及FFU數(shù)量巨大的電子工業(yè)潔凈室工程性能參數(shù)的實(shí)際檢測(cè)方式進(jìn)行了相應(yīng)的分析和探究，通過(guò)數(shù)據(jù)檢測(cè)的方式來(lái)完成實(shí)驗(yàn)任務(wù)，經(jīng)過(guò)論證、實(shí)驗(yàn)和對(duì)比分析之后，對(duì)潔凈廠房的檢測(cè)方式進(jìn)行了分析，同時(shí)可以提高工作效率，保證檢測(cè)質(zhì)量，縮短檢測(cè)時(shí)間，促使最終的檢測(cè)結(jié)果更具精準(zhǔn)度。 

　自從進(jìn)入到二十一世紀(jì)以來(lái)，我國(guó)的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平就在不斷提提高，隨之而來(lái)電子工業(yè)的發(fā)展腳步也隨之加快，集成電路芯片制造以及液晶顯示面板制造生產(chǎn)廠家的運(yùn)作和發(fā)展也趨于成熟，高世代的TFT-LCD生產(chǎn)線中涵蓋著8.5代生產(chǎn)線國(guó)內(nèi)已經(jīng)有數(shù)十條生產(chǎn)線正在處于建設(shè)過(guò)程中，特別是12英寸的晶圓生產(chǎn)線有多條已經(jīng)建成，同時(shí)投入到生產(chǎn)之中，正式生產(chǎn)工藝的實(shí)際特征，導(dǎo)致這類的生產(chǎn)用潔凈廠房的實(shí)際需求度是極高的，此時(shí)，就需要對(duì)廠房的潔凈程度予以全方面的檢測(cè)，筆者基于此問(wèn)題進(jìn)行了分析和歸納。 

　　1 對(duì)于潔凈廠房檢測(cè)參數(shù)和技術(shù)指標(biāo)的分析 
　　電子工業(yè)潔凈廠房環(huán)境參數(shù)可以直接給產(chǎn)品的良品率帶來(lái)極大的影響，確保潔凈室之內(nèi)動(dòng)態(tài)環(huán)境下和靜態(tài)環(huán)境下的每一項(xiàng)餐參數(shù)都應(yīng)當(dāng)符合設(shè)計(jì)的內(nèi)容需要，通常情況下，電子潔凈廠房對(duì)于各類參數(shù)的要求都是極為嚴(yán)格的，比如，對(duì)于排氣量、新風(fēng)量、工藝排氣、FFU安裝檢漏、溫濕度、照度、靜壓差、防靜電、FFU風(fēng)速、潔凈度等級(jí)、噪聲以及氣流流型等因素的控制需求都是極其嚴(yán)格和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)?，不僅如此，還有其中的超純水測(cè)試以及超純氣體測(cè)試都是必要的，筆者對(duì)潔凈室的參數(shù)測(cè)試方式進(jìn)行了相應(yīng)的分析，以某8.5液晶面板生產(chǎn)線的彩膜和成盒廠房為例進(jìn)行探討，對(duì)其實(shí)際測(cè)試參數(shù)和相關(guān)技術(shù)指標(biāo)予以闡述[1]。 
　　2 對(duì)于FFU面風(fēng)速測(cè)試方式的分析 
　　FFU面風(fēng)速測(cè)試過(guò)程中，需要結(jié)合相關(guān)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房施工及質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB51110及ISO14644-3中的內(nèi)容要求，在對(duì)過(guò)濾網(wǎng)予以測(cè)試時(shí)，需要在過(guò)濾網(wǎng)的1.5分米的位置應(yīng)用多點(diǎn)風(fēng)速儀或是單點(diǎn)風(fēng)速儀在網(wǎng)面之上合理的布置測(cè)試點(diǎn)，每一點(diǎn)的均值都應(yīng)當(dāng)是過(guò)濾網(wǎng)面的風(fēng)速值。在實(shí)施檢測(cè)工作的過(guò)程中，因?yàn)橐壕э@示面板潔凈廠房的凈高較高，測(cè)試工作的落實(shí)需要利用移動(dòng)式升降機(jī)亦或是長(zhǎng)桿的作用，落實(shí)檢測(cè)工作，但是它的檢測(cè)效率相對(duì)較差，同時(shí)高空作業(yè)也會(huì)具有一定程度的安全隱患，不僅如此，受到建設(shè)工期的限制和制約，測(cè)試工作量的巨大也會(huì)導(dǎo)致測(cè)試時(shí)間相應(yīng)的增加，如果想要在規(guī)定時(shí)間之內(nèi)完成檢測(cè)任務(wù)，那么就會(huì)導(dǎo)致時(shí)間過(guò)緊，此時(shí)的產(chǎn)品投入到工藝運(yùn)作生產(chǎn)之中，將會(huì)致使井字架或是升降機(jī)難以正常運(yùn)行，風(fēng)速測(cè)試工作的落實(shí)也會(huì)層層受阻[2]。 
　　基于此，實(shí)際的測(cè)試工作落實(shí)之后，需要將其移動(dòng)到技術(shù)夾層之內(nèi)，應(yīng)用電子式風(fēng)量罩來(lái)對(duì)FFU風(fēng)機(jī)側(cè)進(jìn)風(fēng)予以檢測(cè)，如果將其換位過(guò)濾網(wǎng)來(lái)完成風(fēng)速值的測(cè)試工作，亦或是將風(fēng)量罩之上設(shè)置相應(yīng)的尺寸，對(duì)過(guò)濾網(wǎng)的風(fēng)速予以讀出，想要使測(cè)試更為精準(zhǔn)，可以通過(guò)對(duì)比實(shí)驗(yàn)的方式，來(lái)提高測(cè)量的精準(zhǔn)度和科學(xué)性，可在1.2米*1.2米的截面之上取四個(gè)點(diǎn)，與此同時(shí)，可以在FFU之上的風(fēng)側(cè)之上的技術(shù)夾層之中的風(fēng)機(jī)側(cè)，借助風(fēng)量罩來(lái)完成測(cè)量任務(wù)，而后完成數(shù)據(jù)的讀取，從首次的測(cè)量數(shù)據(jù)讀取過(guò)程中，可知風(fēng)量罩以及多點(diǎn)風(fēng)速儀的測(cè)試都會(huì)體現(xiàn)出一定的誤差，這就顯示了FFU風(fēng)機(jī)測(cè)量實(shí)際的進(jìn)風(fēng)量，此測(cè)量方式具有一定的可行性?；蚩墒褂昧Ｗ蛹夹g(shù)方式來(lái)完成FFU泄漏檢測(cè)任務(wù)[3]。 
　　粒子技術(shù)方法的實(shí)施，實(shí)際的影響因素主要有兩個(gè)，其一為測(cè)量用塵源，其二為上方塵源濃度?；趬m源這一問(wèn)題，已經(jīng)有技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)對(duì)其予以規(guī)范，我國(guó)國(guó)內(nèi)大多都使用人工塵源的方式，比如，有PAO、DEHS、DOP以及PSL等，而筆者經(jīng)過(guò)分析之后，認(rèn)為潔凈廠房對(duì)于潔凈度的需求等級(jí)為ISO，以及五級(jí)混合流潔凈室的FFU檢泄漏檢測(cè)，所應(yīng)用的大氣塵源大多能夠符合塵源檢測(cè)的粒徑或是濃度需要，同時(shí)人工塵源檢測(cè)也具有較大的優(yōu)勢(shì)，體現(xiàn)出小批量生產(chǎn)中對(duì)于空氣過(guò)濾器泄露檢測(cè)的精準(zhǔn)度，具有一定的穩(wěn)定性，另外，檢測(cè)時(shí)間以及費(fèi)用等也可以被接受。 
　　如果空氣過(guò)濾器的數(shù)量較為巨大，那么，將會(huì)極其繁雜，不僅費(fèi)時(shí)費(fèi)力，同時(shí)它的實(shí)際可操作性能也極差，特別是受到時(shí)間成本的影響，如若此時(shí)應(yīng)用大氣塵作為塵源，此時(shí)的測(cè)量方式將會(huì)相對(duì)較為便捷，檢測(cè)過(guò)程中，僅僅需要在區(qū)域范圍內(nèi)引入一定的風(fēng)量，同時(shí)可以在過(guò)濾器之上的位置實(shí)施取樣測(cè)試，最終確定塵源的濃度，而其他的操作都應(yīng)當(dāng)在過(guò)濾網(wǎng)的下方來(lái)完成。 
　　結(jié)合相關(guān)的技術(shù)規(guī)范需要，應(yīng)當(dāng)對(duì)采樣流量的規(guī)定內(nèi)容，以及采樣頭的尺寸以及速率等，保證規(guī)格為1200*1200的FFU測(cè)試時(shí)間超出五分鐘的范圍，確保一個(gè)測(cè)試人員、測(cè)試的機(jī)器以及儀器設(shè)備等都可以符合測(cè)量需要。 
　　3 對(duì)于溫濕度的測(cè)試方式分析 
　　電子工業(yè)潔凈廠房溫濕度精度要求，溫濕度的精度應(yīng)當(dāng)控制在±0.5攝氏度的范圍之內(nèi)，而濕度精度則應(yīng)當(dāng)控制在±5%，此時(shí)需要參照有關(guān)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)溫濕度進(jìn)行合理的設(shè)置，對(duì)測(cè)試點(diǎn)的數(shù)量和位置予以確定，將測(cè)量點(diǎn)控制在150點(diǎn)左右，實(shí)現(xiàn)均勻的分布，這樣將會(huì)使測(cè)試結(jié)果更具針對(duì)性，更能對(duì)室內(nèi)的情況予以全方位的展現(xiàn)。 
　　4 結(jié)束語(yǔ) 
　　綜上所述，電子工業(yè)潔凈廠房對(duì)于潔凈度的需求是極高的，此時(shí)就需要借助高精準(zhǔn)度的檢測(cè)方式，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確程度，提高檢測(cè)質(zhì)量。