無塵室潔凈度檢測標(biāo)準(zhǔn)參考
1　目的

   規(guī)定無塵室潔凈區(qū)的控制指標(biāo)和檢測方法，有效的控制十萬級和三十萬級潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度，滿足生產(chǎn)環(huán)境的要求。

2　范圍

   本規(guī)程適用本公司十萬級和三十萬級潔凈區(qū)環(huán)境的潔凈度檢驗(yàn)。

3　檢驗(yàn)方法

3.1　檢驗(yàn)項(xiàng)目

   溫度、濕度、壓差、風(fēng)速（換氣次數(shù)）、塵埃粒子數(shù)、菌落數(shù)

3.2　溫度、濕度

3.2.1　要求

   十萬級/三十萬級潔凈區(qū)溫度（18-26）℃，相對濕度（45-65）%

3.2.2　儀器與設(shè)備

   溫濕度計(jì)

3.2.3　操作方法

   目測溫濕度計(jì)。

3.2.4　測定頻次 

1次/班。

3.3　靜壓差

3.3.1　要求

潔凈室與室外壓差≥10Pa，潔凈室與非潔凈室≥5Pa不同級別潔凈室之間≥5Pa。

3.3.2　儀器與設(shè)備：補(bǔ)償式微壓計(jì)

3.3.3　操作方法

   用補(bǔ)償式微壓計(jì)測試各室的靜壓力，由兩室靜壓力之差，為靜壓差。

3.3.4　測定頻次：1次/月

3.4　換氣次數(shù)

3.4.1　要求

   十萬級潔凈區(qū)換氣次數(shù)>15次

三十萬級潔凈區(qū)換氣次數(shù)>12次

3.4.2　儀器與設(shè)備：熱球式電風(fēng)速計(jì)。

3.4.3　操作方法距風(fēng)口下25cm處測量

3.4.3.1　用風(fēng)速計(jì)風(fēng)速，采樣點(diǎn)為風(fēng)口的四個(gè)頂角及中心位置（不少于5點(diǎn)）。計(jì)算5個(gè)點(diǎn)風(fēng)速平均值。為一個(gè)風(fēng)口的風(fēng)速。

3.4.3.2　換算公式：

                  ∑（高效風(fēng)口風(fēng)速×高效風(fēng)口面積）

    換氣次數(shù)= ──────────────────

                              被測間體積

3.4.4　測定頻次：1次/月

3.5　塵埃粒子數(shù)

3.5.1　要求

十萬級潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù)： ≥0.5μm：≤3500個(gè)/L

                         ≥5.0μm：≤20個(gè)/L

三十萬級潔凈區(qū)塵埃粒子數(shù)：≥0.5μm：≤10500個(gè)/L

≥5.0μm：≤60個(gè)/L

3.5.2　儀器與設(shè)備：塵埃粒子計(jì)數(shù)儀

3.5.3　采樣點(diǎn)

根據(jù)面積，要求最少采樣點(diǎn)見下表：

面積，（m2）	潔凈度級別
	10000	100000	300000
≤10 ≥10～＜20 ≥20～＜40 ≥40～＜100 ≥100～＜200 ≥200～＜400 ≥400～＜1000 ≥1000～＜2000 ≥2000	2 2 2 4 10 20 40 100 200	2 2 2 2 3 6 13 32 63

3.5.4　操作方法

用塵埃粒子計(jì)數(shù)儀在高度1米水平面上的位置采樣，每層采樣點(diǎn)不少于5點(diǎn)，每個(gè)采樣點(diǎn)采樣次數(shù)不少于5次。采樣點(diǎn)見附件1。  

3.5.5　換算公式

             5次測量數(shù)的總和

塵埃粒子數(shù)= ─────────

                   5

3.5.6　測定頻次 ：1次/季

3.6　菌落數(shù)

3.6.1　要求

  浮游菌 十萬級潔凈區(qū)含菌濃度≤500個(gè)/m3

  沉降菌 十萬級潔凈區(qū)含菌濃度≤10個(gè)/皿

          三十萬級潔凈區(qū)含菌濃度≤15個(gè)/皿

3.6.2　檢測方法

按《微生物檢驗(yàn)規(guī)范》的規(guī)定進(jìn)行。

3.6.5　測定頻次：浮游菌 1次/季；沉降菌 1次/周

4　測定條件

4.1　當(dāng)新潔凈區(qū)投入使用前，進(jìn)行一次靜態(tài)環(huán)境監(jiān)測，監(jiān)測時(shí)，潔凈區(qū)內(nèi)所有物品均應(yīng)到位，檢測區(qū)內(nèi)只留檢測人員，檢測結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應(yīng)重新對凈化系統(tǒng)進(jìn)行檢查，查找原因，進(jìn)行整改后，再進(jìn)行檢測，合格后方可投入使用，否則不得進(jìn)入生產(chǎn)。

4.2　所有在用潔凈區(qū)，按本規(guī)程的要求進(jìn)行動態(tài)檢測，檢測結(jié)果應(yīng)符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術(shù)品質(zhì)部告知生產(chǎn)部，通知超標(biāo)車間停產(chǎn)，由生產(chǎn)部、技術(shù)品質(zhì)部、生產(chǎn)車間組織人員查找原因，進(jìn)行整改后，再進(jìn)行檢測，合格后方可投入使用。

附件1 塵埃粒子檢測點(diǎn)

附件2 沉降菌檢測點(diǎn)

附件3 浮游菌檢測點(diǎn)

原文